TFS NX300

Тонкопленочные системы TFS NX300 для промышленной пассивации поверхностей солнечных элементов с-Si

Установка TFS NX300 компании Beneq предназначена для специфических применений, созданная для полностью автоматизированной промышленной пассивации поверхности кристаллического кремния (C-Si) солнечных пластин. Размер партии составляет 500 шт, что позволяет обеспечить пропускную способность 3000 пластин в час.
 

Спецификация покрытия

Размер партии	500 пластин
Размер пластины	156 × 156 (мм)
Толщина пленки	20 нм
Скорость роста пленки	0.1 нм/цикл
Время цикла	4 сек
Реакционные камеры	4
Производительность	пластин/час

 

Больше информации

Больше информации об установке TFSБольше информации об установке TFS NX300 можно найти на странице, посвященной данным приложениям Поверхностная пассивация для c-Si солнечных элементов.

 

Image gallery