TFS 1200

Тонкопленочные системы TFS 1200 для поточного производства буферного слоя на солнечных элементах CIGS.

Установка TFS 1200 компании Beneq является системой для специфических приложений, предназначенной для промышленного поточного производства покрытий буферного слоя на медь-индий-галлий-диселенидах (CIGS) тонкопленочных солнечных элементов. Максимальный размер подложки составляет 1200 × 1200 (мм), признанный мировой рекорд в размерах подложки в области ALD.
 

Характеристики покрытий

Материал	Zn(O,S)  (Zn,Mg)O     (под заказ)  In2S3          (под заказ)
Толщина	10 - 50 нм
Температура процесса	120 - 180 °C
Пропускная способность и производительность (для установки TFS 1200 компании Beneq для поточной системы нанесения покрытий)	количество панелей: 12 панелей/час (для 30нм покрытия Zn(O.S))   максимальный размер панели: 1200 × 1200 (мм)   годовая мощность: > 100,000 m2/a (≈ 12 МВтp/a)

 

Больше информации

Больше информации об установке TFS 1200 можно найти на страничке для Безкадмиевые буферные слои для солнечных элементов CIGS.