P400A and P800

Оборудование

P400A and P800

Тонкопленочные системы P400A и P800 для промышленных производственных линий

Установки P400A и P800 компании Beneq являются ALD системами, предназначенными для промышленного производства. Они являются идеальным инструментом для усовершенствования осаждения тонких пленок из стадии НИОКР до полноразмерного промышленного производства. Системы надежны, промышленно протестированы и готовы с точки зрения технических особенностей. Конструкция установок основана на опыте непрерывного (24 / 7) применения в промышленности в течение 25 лет.

Большинству наших промышленных потребителей требуется специализированное оборудование и технологические установки. У компании Beneq в наличии имеется несколько систем P400A и P800 для удовлетворения широкого спектра потребностей в области нанесения покрытий при разработке приложений и тонкопленочном НИОКР. Таким образом, клиенты, ищущие оборудование для производства могут проверить технические и финансовые показатели процесса и оборудования, до принятия решения об инвестициях. Кроме того, мы предлагаем возможность мелкомасштабного производства пока собственная установка находиться в разработке.

Усовершенствование до крупных партий и стеки толстых пленок

Вопреки распространенному мнению, многие процессы ALD используют стеки толстых пленок (> 1 мкм). Для толстопленочных партий необходимо оптимизировать передачу прекурсоров исходных материалов и внедрить современные методы управления отходами процесса. Установки P400A и P800 оснащены многофазной системой фильтрации, способной обрабатывать большие объемы прекурсоров. Во время процесса, функция де-активации прекурсоров гарантирует, что химические вещества, которые могут вызвать рост пленки, не попадут в вакуумный насос. Вакуумный фильтр большого объема с высокой проводимостью газа. Большая емкость утилизации системы позволяет осуществлять очистку с интервалом примерно 1 год в режиме НИОКР и от 3 до 6 месяцев при использовании в производстве. Для производства и нанесения покрытий, существует удобный набор команд для создания наноламинатов, смешанных пленок и сложных структур. Оборудование позволяет нанести сотни различных слоев за одну операцию.

Производственные и финансовые показатели

Быстрое усовершенствование масштаба до производства после завершения фазы НИОКР.
Расширенный журнал записи результатов испытаний для многократного управления производством.
Поддерживаемая функция бесперебойного энергоснабжения
Низкая потребность в техническом обслуживании.
Уникальные мини-среды для обеспечения гибкости размеров загрузок, партий и подложек, а также контроля загрязнения.
Мини- среды и запатентованная фильтрация отделяют работы по очистке от базовой системы P400A. Отсутствие простоев из-за очистки.
Экономичные "горячие стенки" и системы партий высокой производительности.
Уникальный термически стабильный блок источника с запатентованным быстрыми встроенными клапанами дозирования и каналами потока.
Вакуумная насосная система с многофазной запатентованной де-активацией прекурсоров высокой мощности и система фильтрации для обработки партий больших объемов.
Перегрев недопускается с помощью дополнительных PLC контроллеров с встроенными термопарами, помимо нормальной петли отопления, в целях повышения безопасности производства.
Промышленно доказанная высокая повторяемость и надежность производства, основанная на 30-тилетнем опыте разработок.

Технические характеристики

	P400A	P800
Температура процесса	25 - 550 °C	25 - 550 °C
Размеры вакуумной камеры	ø400 × 1000 (мм)	ø800 × 1600 (мм)
Типы и размеры реакционной камеры	Индивидуальный заказ и специфические подложки, например: - внутренний размер камеры 250 × 250 × 1000 (мм) - Камера для плоских подложек 370 × 470 (мм)	Индивидуальные заказы и специфические подложки (в пределах размера вакуумной камеры).
Источники прекурсоров	5 параллельных линий для газа, жидкостей и твердых прекурсоров. Возможно подключение более 10 прекурсоров.	5 параллельных линий для газа, жидкостей и твердых прекурсоров. Возможно подключение более 10 прекурсоров.
Контрольная система	PLC контроллер с компьютерным интерфейсом	PLC контроллер с пользовательским интерфейсом
Основные размеры (Д х Ш х В)	2400 × 930 × 2420 (мм)	3200 × 1340 × 2460 (мм)