Оптические Покрытия

nOPTO™ - ALD покрытия компании Beneq для оптической и фотонной промышленности

Существует несколько аргументов в пользу использования ALD в оптической и фотонной областях применения. Во-первых, ALD позволяет наносить покрытия на объекты, на которые трудно или невозможно нанести покрытие с помощью других методов. Во-вторых, ALD открывает возможность производства новых оптических материалов. В-третьих, точность толщины пленки в ALD, как правило, составляет от 0,2 до 12 А, в зависимости от материала. И последнее, но не менее важное, ALD покрытия полностью конформны и безпористы, что делает их особенно подходящими для создания барьерных и пассивационных слоев. Технология nOPTO™ компании Beneq предлагает ALD покрытия для оптической и фотонной промышленности.
 

Специализированные материалы

Возможность производства новых материалов является одной из самых сильных особенностей ALD. ALD особенно подходит для создания материалов, требующих смешивания атомов и тонких слоев. Легирование становиться проще с ALD. Существует множество возможностей использования легирующих веществ, в том числе редкоземельных элементов.

Модифицированный TiO₂ является хорошим примером универсального материала ALD. Пленка по сути является оптически аморфной, физически кристаллической, с высоким показателем преломления и с малыми оптическими потерями. TiO₂ имеет высокий показатель преломления, но при температуре выше 150 ° С он становится кристаллическим, что вызывает эффект рассеивания и оптические потери. Рассеяние от кристаллов может быть предотвращено, сохраняя размер кристалла малым. Это может быть достигнуто путем осаждения аморфных ALD тонких пленкок между кристаллическими слоями. Показатели преломления поддерживаться на высоком уровне с помощью аморфного слоя, толщиной менее 1 нм.

Генерация света

Известнымрименением ALD метода является тонкопленочный электролюминесцентный диспелей. В дисплее, свет генерируется в легированном Mn слое люминофора ZnS. Изоляторами служат специализированные материалы полученные из Al₂O₃ и TiO₂ при помощи ALD.

Декоративные покрытия

Плотно окрашенные пленки добавляют жизни и характера коммерческим объектам и устройствам с жесткими требованиями к эстетическим ценностям. Диэлектрические, не проводящие электричество,  похожие на металл зеркала могут быть нанесены на пластмассу.

Барьеры

Метод ALD предлагает лучшие барьерные слои благодаря их конформному, безпористому росту пленки. Хорошим примером этого является установка компании Beneq nSILVER ®, предназначенная для нанесения покрытия против потускнения на серебряные ювелирные изделия, которое является плотными, оптически прозрачными и конформными барьерным слоем невидимым для человеческого глаза.

Метод ALD является зрелой технологией. Во всем мире большинство ALD деятельности сконцентрировано на рынке полупроводников, где хиспользуются тонкие пленки. В оптической и многих других отраслях промышленности, как правило, требуются покрытия, толщиной в несколько микрометров. Как технология, ALD не будет испытывать трудности при нанесении толстых пленок. Однако, в случае необходимости обработки непрерывных толстых пленок,  промышленные системы по нанесению ALD покрытий должны быть спроектированы и построены для этих целей. ALD системы компании Beneq были тщательно апробированы для обеспечения надежного и воспроизводимого процесса обработки стеков пленки, толщиной несколько микрон.

Больше информации

Загрузите nOPTO brochure (pdf). (in english)