Обзор оборудования для ALD

В Beneq, мы подошли к проектированию ALD-оборудования с открытым сердцем и новаторским духом. Наша цель заключается в разработке новых приложений и бизнес-возможностей, объединяя опыт с новыми открытиями. Сегодня Beneq обладает полным опытом в ALD. С 2005 года мы запустили оборудование для исследования, серийного производства и непрерывного промышленного производства, обеспечивая, чтобы особое качество, присущее оборудованию Beneq, стоило вашего времени.
 

Not all ALD equipment can do the same thing

ALD оборудование Beneq обеспечивает проверенный передовой успех технического исполнения. Все наши системы - это совокупность бескомпромиссно высокого качества покрытия с чрезвычайно низким временем цикла. Для лучших ALD покрытий, Beneq - ваш естественный выбор.

Beneq ALD предлагает Вам разнообразную палитру оборудования, от чисто исследовательских инструментов для крупных установок промышленного производства. Все наше оборудование планируется, разработавыется и изготавливается профессионалами и для профессионалов. Некоторые из наших систем, например, TFS 1200 и TFS NX300, используются для конкретных приложений сконцентрированы на определенных процессах и свойстах. Эти приложения конкретных систем являются результатом углубленный работы вместе с клиентами с целью создания надежного оборудования для производства и решения для их идей. Ниже приведен список наших ALD установок.

• Установка TFS200, для исследованиий в ALD, включая технологию Particle ALD™
• Установка TFS200R, для исследований в ALD в продленном режиме
• Установка TFS 500, для исследований в ALD и массовом производстве
   
• Установка TFS600 для промышленного применения в OLED
• Установка TFS1200, для работы со встроенными системами CIGS для буфферных слоев солнечных батарей
• УстаноУстановка TFS NX300 для автоматизированной пассивации поверхностей солнечных батарейn
• Установки P400A и P800 для массового промышленного производства по ALD технологии
   
• WCS 500, для атомно-слоевого осаждения «ролл-ту-ролл» научно-производственных масштабов

 

Particle ALD is a trademark of ALD NanoSolutions, Inc.
 

View video (opens on top)