Аэрозольные покрытия
Компания Beneq разрабатывает оборудование и процессы нанесения аэрозольных покрытий для тонкопленочных приложений. Два аэрозоля процесса нанесения покрытий, предлагаемые Beneq, являются уникальными запатентованными технологиями.
Разработка аэрозольных методов в компании Beneq началась с процесса nHALO®: пламенного процесса, основанного на генерации наночастиц, изначально разработанного для художественного окрашивания стекла. Компания Beneq превратила его в промышленную крупномасштабную технологию обработки с несколькими областями применения. Вторым аэрозольным процессом является nAERO®. Процесс nAERO был разработан, чтобы удовлетворить быстро растущий спрос на гибкий, адаптивный и альтернативный метод тонкопленочного покрытия для стекол. Основной областью применения процесса nAERO является прозрачный проводящий оксид (TCO), на который сегодня сохраняется высокий и постоянно растущий спрос в солнечной (фотоэлектрической) промышленности.
nHALO – пламенный аэрозольный метод нанесения покрытий
ГорячийАэрозольный метод нанесения покрытий nHALOкомпании Beneq, основан на сжигании газообразного и жидкого распыленного сырья в атмосферном кислороднотопливном пламени. Этот метод испарения-конденсации газа производит наноразмерные частицы оксидов металлов, например, TiO2 и Al2O3, благородных металлов, например, например Agи Pdи их комбинаций, например, TiO2-Ag.Гибкость в выборе сырья дает свободу смешивать сырьё разном давлении пара. Турбулентное пламя обеспечивает эффективное смешивание сырья, что приводит к образованию однородных наночастиц. Быстрое охлаждение и краткое время процесса производит частицы с небольшим разбросом по размерам. Размер наночастиц при использовании процесса nHALO зависит в основном от скорости подачи массы исходного реагента. Полученный материал мало влияет на средний диаметр и размер частиц. Схема ниже показывает основные параметры для образования наночастиц и покрытий в процессе nHALO- все в одном шаге процесса.

nHALO может быть использована для изменения поверхностного слоя подложки путем диффузии наночастиц в структуру материала, или для получения покрытия путем осаждения наночастиц только на поверхность. Размер частиц, производимых при помощи nHALO варьируется в диапазоне от 5 до 200 нм в диаметре (размер первичных частиц), в зависимости от состава исходных реагентов и параметров процесса. После синтеза, частицы могут быть направлены на сбор или прямое осаждение на подложку, как в случае окраски и нанесения покрытия на стекло.
nAERO - аэрозольный метод нанесения покрытий
В процессе nAERO, исходные реагенты подаются в камеру осаждения в качестве капелек жидкости, которые наносятся на поверхность стеклянной подложки. Первоначальный размер капель и разница в размерах капель имеет первостепенное значение для получаемой тонкой пленки. Перед осаждением стеклянная подложка нагревается до такой температуры, что тепловая энергия стеклянной подложки может испарять капли близко к поверхности, прежде чем капли ее коснутся. На схеме ниже представлены основные параметры для покрытия nAERO.

Основные преимущества процесса nAERO в том, что он сочетает в себе качества аэрозольного пиролиза и химического осаждения CVD таким образом, что проблем, обычно связанных с этими методами можно избежать. nAERO предлагает:
- Высокие темпы роста тонкой пленки
- Эффективное использование сырья
- Минимизирует неблагоприятное формирование частиц
- Подходит для различных применений, как в поточном, так и автономном режимах
- Предназначен для использования при нормальном атмосферном давлении
Процесс nAERO был успешно реализован как для производства покрытий прозрачного проводящего оксида (для Low-E и PV приложений) и для самоочищающихся покрытий.
Больше информации
Загрузить Брошюру Аэрозольные технологии нанесения покрытий (pdf). (in english)





