TFS NX300
用于晶体硅太阳能电池工业化表面钝化的TFS NX300薄膜系统
倍耐克公司的TFS NX300是针对特定应用的系统，它被设计用来进行晶体硅太阳能电池表面钝化的全自动工业化生产。它的批量大小为500片，每小时的产能达到3000片硅片。
技术规格
| 批量大小 | 500 片 |
| 硅片尺寸 | 156 × 156 (mm) |
| 薄膜厚度 | 20 nm |
| 沉积速度 | 0.12 nm/循环 |
| 循环时间 | 4 秒 |
| 镀膜腔 | 4 |
| 产能 | 3900 片/小时 |
更多信息
作为与特定应用紧密联系的设备，与TFS NX300有关的信息也可以在针对晶体硅太阳能电池表面钝化的应用中找到。
Image gallery
RSS
PRINT