TFS 1200和TFS 1200B

用于CIGS 缓冲层在线和批量生产的TFS 1200薄膜系统

倍耐克公司的TFS 1200是针对特定应用的设备，它被设计用来进行CIGS薄膜太阳能电池缓冲层的工业化在线生产。基底的最大尺寸是1200 × 1200 (mm), 这也是ALD镀膜基底尺寸的世界记录。
 

镀膜技术规格

材料	Zn(O,S)  (Zn,Mg)O     (选项)  In2S3          (选项)
厚度	10 - 50 nm
工艺温度	120 - 180 °C
产能和产量  倍耐克 TFS 1200 在线镀膜单元	片数:   5 片/小时 (沉积 50 nm Zn(O.S) 薄膜)  最大面板尺寸:  1200 × 1200 (mm)  年产量:   > 50,000 m²/年(≈ 6.5 MWp/年)
产能和产量  倍耐克TFS 1200B 离线 3 批量单元  每批次6片	片数:   45 片/小时   (for 50 nm Zn(O,S) 膜层)  最大面板尺寸:   1200 × 1600 (mm)  年产量:   > 670,000 m²/a  (≈ 88 MWp /a)

 

更多信息

作为与特定应用紧密联系的设备，与TFS 1200有关的信息也可以在针对CIGS太阳能电池无镉缓冲层的应用中找到。