气溶胶镀膜

倍耐克公司为各种薄膜应用研发了气溶胶镀膜设备和工艺。以下两种气溶胶镀膜工艺是倍耐克公司独有的知识产权。
 

倍耐克公司首先研制出以火焰为基础的纳米颗粒产生工艺nHALO^®技术。它最初被用来进行玻璃的着色，倍耐克公司已经成功的将其转变成为适合于多种应用的大规模工业化技术。另一种气溶胶技术是nAERO^®，它是一种针对先进玻璃镀膜的灵活可调的镀膜方法。nAERO的主要应用是透明导电氧化物薄膜（TCO）,这种薄膜被越来越多的用于太阳能（光伏）产业。

nHALO – 以火焰为基础的气溶胶镀膜技术

倍耐克公司的nHALO技术是一种大气环境下的热气溶胶火焰喷涂镀膜技术，它是基于气态和原子化的液态原料在大气中的火焰燃烧。挥发出来的气体冷凝成为各种纳米颗粒如金属氧化物(TiO₂ 和 Al₂O₃),贵金属(银和钯)，混合物(TiO₂-Ag)等。这种工艺可以通过调节挥发的压力灵活的选择各种原料。湍流火焰将原料有效的混合在一起并产生出均质的纳米颗粒。快速淬火和较短的残留时间保证了较窄的颗粒尺寸分布。nHALO工艺中的纳米颗粒大小主要取决于前驱体的进料速度。下面的示意图展示了nHALO纳米颗粒的产生和镀膜的基本过程。

nHALO可以通过将颗粒扩散到材料内部或是在材料表面沉积一层纳米颗粒薄膜来实现对基材的表面改性。nHALO工艺产生的颗粒尺寸主要取决于前驱体的成份和工艺参数，颗粒直径为5到200nm（主要颗粒尺寸）。颗粒在合成后可以直接收集或沉积在基底表面，就像玻璃着色和镀膜工艺
 

nAERO – 基于气溶胶的镀膜工艺

在nAERO工艺中，前驱体被注入到沉积腔中形成液态液滴，然后直接沉积在需要镀膜的玻璃表面。液滴的大小和尺寸分布决定了最后形成的薄膜的质量。玻璃基底被加热到一定的温度，在液滴接触到玻璃表面之前，玻璃的热量可以将接近玻璃表面的液滴蒸发。下图显示了nAERO工艺的基本原理。

 

nAERO工艺综合了喷涂热解和CVD的优点，而且避免了这些技术的带来的问题。nAERO技术的主要优势是：

• 较高的薄膜沉积速率
• 较高的原材料利用率
• 最少的与工艺相关的有害颗粒
• 适合于各种在线和离线应用
• 大气环境下使用

nAERO工艺被成功的应用于TCO镀膜(low-e和光伏应用)和自清洁涂层的生产。

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